В лаборатории технологии интегральных схем постигаем тонкости процесса фотолитографии (занятие проводит ст. преподаватель Р. Бенисявичюте) / Integralinių schemų technologijos laboratorijoje fotolitografijos paslaptis aiškina vyr. dėstytoja R. Benisevičiūt